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  • MicroChem 光刻膠負性光刻膠 SU-8系列
MicroChem 光刻膠負性光刻膠 SU-8系列

MicroChem 光刻膠負性光刻膠 SU-8系列

  • MicroChem SU-8光刻膠是一種基于環(huán)氧SU-8樹脂的環(huán)氧型的、近紫外負性光刻膠，該系列光刻膠性能優(yōu)良，主要用于厚襯底上需要高深寬比時的應用?？蓪贤饩€（365nm）照射進行光成像，形成的固化膜或微結(jié)構(gòu)具有出色的熱穩(wěn)定和機械穩(wěn)定性，并耐溶劑和酸堿腐蝕，使其非常適合制造永久性結(jié)構(gòu)，例如像素墻，流體通道和噴嘴，微陣列和墊片等。

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MicroChem 光刻膠負性光刻膠 SU-8系列(圖1)


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