韓國COXEM EM-30 Plus超高分辨率臺式（桌面式）掃描電鏡
品牌： COXEM | 名稱型號：EM-30 PLUS |
制造商： 韓國COXEM公司 |
產品簡介：
EM-30 Plus超高分辨率臺式（桌面式）掃描電鏡打破了傳統臺式掃描電鏡采用BSD探測器成像的局限性，利用創新的雙聚光鏡成像技術，采用大型掃描電鏡成像方式，使用二次電子探測器作為基礎成像單元，從而，可以獲得更高的分辨率（<5nm），是真正意義上的高分辨率臺式掃描電鏡。EM-30 Plus臺式電鏡配置SE+BSE探測器，可實現對樣品的元素襯度、形貌襯度進行分析，同時，也可選配EDS探測器（能譜儀），快速實現對材料微區化學成分進行定性及定量分析。
COXEM（庫賽姆）EM-30 Plus產品技術亮點：
l 超高分辨率（5.0nm @30kV SE）；
l 更大的放大倍數x 150,000；
l 更加簡單易用的導航模式，更加快速的操作模式；
l 同時刻進行二次電子像和背散射電子像收集；
l 更加先進的低真空模式；
l 全新升級的分析軟件，舒適通用；
l 從1kV-30kV同標準電鏡相同的全加速電壓量程；
技術指標：
放大倍數 | x20 ~ x150,000 |
加速電壓 | 1~30kV |
電子槍 | 鎢燈絲 |
探測器 | 標配二次電子像（升級）、背散射電子像（可伸縮），可選配能譜儀 |
樣品臺: | X: 35mm (馬達驅動)， Y: 35mm (馬達驅動)， T: 0- 45°(馬達驅動)， R: 360°，Z: 5-50mm |
樣品座 | 通用7個樣品樁的樣品臺 通用25mm的樣品臺 通用傾斜 通用截面臺 |
試樣尺寸 | 45mm（高）,60mm （直徑） |
圖像模式 (像素) | Focus聚焦（160 x120 pixel） RED選區（320x240）， TV（640x480） Slow（800x600） Photo（1280x960，2560x1920，5120.x3840） |
真空系統 | 渦輪分子泵（小于3分鐘） |
軟件 | 全新的NanoStation 3.0TM |
自動功能 | 聚焦、燈絲、亮度、對比度 |
特殊功能 | 導航模式 駕駛模式（通過控制桿操作） SE+BSE混合像，分屏同時顯示SE,BSE像 組成、形貌 線輪廓 |
操作系統 | Windows 7 |
操作方式 | 控制桿，鼠標，鍵盤 |
外形尺寸 | 400×600×500,90kg |